¿Cómo logra la sala limpia la limpieza?

Debido a la complejidad del entorno externo, no es fácil realizar la limpieza real de Fab. Las principales fuentes de contaminación son partículas, elementos metálicos y materia orgánica de actividades de personal. Partículas y elementos metálicos de la operación del equipo. Partículas, elementos metálicos y materia orgánica de materiales crudos y auxiliares. Partículas de materia orgánica oxidada a partir de métodos operativos. Y partículas del entorno del taller. De estos, los partículas representan aproximadamente 37-70%, partículas líquidas para aproximadamente 10-30%y microorganismos para aproximadamente 5-20%.

Para lograr diferentes niveles de limpieza, FAB generalmente requiere la preparación de un sistema complejo, algo similar a los sistemas de aire fresco actualmente utilizados en los hogares, mediante la adición de filtros de diferentes tamaños con diferentes tamaños de poros entre la ingesta y el escape. Por lo general, la presión del aire en el FAB es más alta que la presión atmosférica exterior para evitar la entrada espontánea de contaminantes para contaminar.

Además de la filtración de alto volumen de contaminantes externos, se requieren sistemas complejos dentro de la sala limpia para mejorar aún más la limpieza de la sala limpia. Por lo general, se requiere una gran cantidad de sistemas de aire acondicionado para filtrar el aire a través de filtros de aire de partículas de alta eficiencia (HEPA) y controlar la temperatura y la humedad en consecuencia (la temperatura de la sala limpia es de 20-26 ℃ y la humedad es inferior al 70%). Los requisitos de limpieza de diferentes plantas de proceso son realizados por diferentes sistemas.

Para las áreas con altos requisitos de limpieza, a menudo se utilizan sistemas ULPA (filtro de aire de ultra baja permeabilidad), es decir, un flujo laminar unidireccional horizontal o vertical, así como el control del número de personal, una forma de flujo de aire que ayuda a mantener una distribución uniforme de las partículas aéreas y minimizar la propagación de las partículas en el espacio. Al controlar la dirección y la velocidad del flujo de aire, se puede lograr un flujo de aire laminar más estable y uniforme. Para otros requisitos de la tienda, los filtros HEPA (aire de alta eficiencia partículas) a menudo se usan para lograr esto, es decir, por turbulencia simple.

Para evitar que la contaminación externa invadir la sala limpia, debe asegurarse de que la presión estática interior sea mayor que la presión estática del mundo exterior, la diferencia de presión debe mantenerse de acuerdo con los siguientes principios:

1. La habitación limpia es más alta que el área no clara.

2. Alta limpieza de la habitación La presión estática es más alta que la limpieza adyacente de la habitación.

3. La puerta de la sala limpia de la sala limpia debe abrirse al alto nivel de limpieza de la región.